氖气|美国使用半导体级氖气超90%来自乌克兰，中国相关技术已成熟

（全球TMT2022年2月23日讯）最近国际形势突变也不可避免地要影响半导体行业，因为有一种关键原料面临断供，这就是氖气。市调机构Techcet发表研究报告指出，许多半导体制造商高度依赖俄罗斯、乌克兰供应的原物料，例如氖、钯等等。该机构估计，美国使用的半导体级氖有超过90%来自乌克兰，钯则有35%来自俄罗斯。

【氖气|美国使用半导体级氖气超90%来自乌克兰，中国相关技术已成熟】光刻气大部分为稀有气体及氟之间的混合气，在高压受激发后形成等离子体，在这个过程中，由于电子跃迁，会产生固定波长的光线。激发出来的光线经过聚合，滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中，氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光，在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氖气占激光气体混合物的96%以上。氪气同样用于光刻制程；氙气用于半导体刻蚀制程。根据芯智讯，乌克兰供应的氖气约占全球70%，并且供应全球约40%氪气，和30%的氙气。
对此，美光发布声明称，对惰性气体（尤其是氖气）供应可能中断的报道令半导体行业感到担忧。不过美光表示，公司在惰性气体的采购上已多元化，公司氖气主要来自欧盟、美国和亚洲等各地供应商。此外，公司还保持了适当的惰性气体库存，并与主要供应商签订了多项长期供应协议。晶圆大厂联电也表示有多重来源，不会依赖单一供应商，能够找到替代货源。中国特种气体市场资深分析师任路则表示，虽然氖、氪、氙为半导体行业生产所必需，但是其绝对使用量并不高，作为钢铁行业的副产品，全球市场体量不是很大。 “中国是全球钢铁大国，对于这些稀有气体的纯化技术已经实现了突破，生产工艺也比较成熟，不再是能够‘卡中国脖子’的技术了。”