双工件台华卓精科搞定了,EVU光源长春光机所搞定了,就差镜片了

众所周知，光刻机的核心技术部件掌握在德国和美国手里，分别是蔡司的镜片和美国的光源设备。 EUV之所以年产几十台而已，就是因为德国的蔡司镜片的产量限制。

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光源必须是极紫单色光，又必须是反射镜头，关键是那个抛光平整度难得很，国产的磨料只能达到所需直径值的200倍，要找到规定的磨料，按编辑认知水平，还有相当距离。到最后，还是高精度精密机床得攻克，没有这机器加工不出来。

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【双工件台华卓精科搞定了,EVU光源长春光机所搞定了,就差镜片了】但如果说国内有哪个单位能研发出EUV光刻机，那一定是长光所，长光所在激光器，超高精度抛光，都是国内顶尖，恰好对应EUV光刻机两大系统。鉴于长光所已经突破了光源，因此目前中国EUV光刻机最大的问题不是光源，而是镜头mirror 。

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目前中国光刻机比较靠谱的镜头技术依然还是来自长春光机所同步反射式mirror ，从已知信息来看落后德国蔡司mirror水平20年，如果不能从德国进口蔡司最新一代3400版mirror ，国内高端光刻机突破依然路漫漫其修远兮，但是中国做到了，喜讯来得如此之快，华为终于有救了！