realme|光刻机最核心的部件是镜头,上海微电子研发了10年,才成功量产90nm光刻机

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光刻机的最核心部件为镜头 , 很多人对这个“玻璃”很不屑 , 以为不就是一块破玻璃嘛 , 可打脸的是上微电子2007年就研发成功的国产90NM光刻机 , 却直到11年后的2018年才能正式量产 , 问题就是被卡在这个“玻璃”上 。
镜头的最大难度:【镜面光洁度】 , 以目前最顶尖的EUV光刻机为例子 , 镜头的分辨率要达到5NM , 意味着EUV的镜头的镜面光洁度要达到50皮米 。 这个是什么概念?相当于把整个云南省全部推倒并刮平地面 , 全省的平整度不能超过1厘米 。 要实现这个极端要求 , 必须拥有精度最高的打磨机、颗粒最细的镜头磨料、还得有称为“金手指”的顶级技工 。 蔡司目前的“金手指”技工团队不到20人 , 这也是ASML产量不够的根本原因 , 因为镜头属于标准非球的加工 , 无法纯机械打磨 , 必须手工与机械配合 。
上微电子2007年研发成功的90NM光刻机 , 当时使用的【数值孔径为0.93NA , 分辨率为90nm】的镜头由蔡司提供 , 但是在同年随即被美国卡了脖子 , 机器无法量产 , 经过10多年的努力 , 在2018年 , 长春国科精密光学研发的【数值孔径0.75NA , 分辨率为90nm】验收成功 , 纯国产90NM光刻机正式量产 。
【realme|光刻机最核心的部件是镜头,上海微电子研发了10年,才成功量产90nm光刻机】
上微电子即将量产28NM光刻机 , 说明国产镜头技术又继续进步了 , 追赶蔡司和尼康是一刻不停 , 在电子技术和电气技术上 , 我们从来不落后 , 唯独差在机械精度和手工精度上 。
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