这意味着 ， EUV光刻机的三大核心技术均已告破 ， 而中科院也兑现了自己的诺言 。
虽然EUV号称超过10万个的精密配件还未突破 ， 但它再多能多的过航母吗？这对于庞大的中国制造市场来说 ， 这并不是大问题 。
【极紫外光刻|EUV光刻机宣告突破，中科院兑现诺言，ASML没想到会这么快】回顾这七十年来 ， 在西方的封锁之下 ， 我国科技的发展之路虽然十分坎坷 ， 但从未停歇 ， 一个个首创成果纷至沓来 ， 一项项超级工程问鼎世界 ， 一次次科学突破造福人类 ， 用“峰回路转、百舸争流”来形容中国科技最为合适 。 小小的EUV光刻机又何足道哉呢？

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