目前 ， ArF光刻胶已经在28纳米工艺节点有突破、刻蚀机已经可用于14nm生产、大束流离子注入机工艺覆盖至28纳米……从各个环节来看 ， 国内已经做到了28nm生产线的覆盖 ， 待到光刻机到来 ， 全国产28nm工艺将正式下线 。

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