光刻机|比光刻机还贵的“大国重器”，长期被一家日企垄断，中国终于实现突破

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【光刻机|比光刻机还贵的“大国重器”，长期被一家日企垄断，中国终于实现突破】

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光刻机是芯片制造领域的核心光刻设备，一台光刻机的好坏直接决定了芯片工艺的高低。在全球芯片行业，只有荷兰的ASML（阿斯麦）能够生产最顶级的EUV光刻机，而一台EUV光刻机的售价则高达1.2亿美元，而且还供不应求。

在液晶面板行业，同样有一种“大国重器” ，是生产OLED柔性面板的关键设备，地位堪比EUV光刻机，甚至比EUV光刻机还贵，也比EUV光刻机更稀少，而且被一家日本企业长期垄断，这种关键设备就是真空蒸镀机。
真空蒸镀机只应用于OLED面板的生产。在OLED面板的制造过程中，真空蒸镀机可以把OLED有机发光材料蒸发成原子或分子态，从而在玻璃基板上形成薄膜。这个薄膜的厚度、纯度和品质，直接决定了OLED面板的品质。

一台真空蒸镀机的生产线可达100米，是整个OLED面板制造过程中最核心的设备。当然价格也不便宜，一台佳能Tokki生产的高端真空蒸镀机的售价可达1.4亿美元。
目前在真空蒸镀机领域，佳能Tokki的市场份额高达95% ，地位相当于光刻机领域的ASML ，凭借一己之力拿捏整个OLED产业，三星、LG、夏普、京东方等面板巨头都要看佳能Tokki的脸色。

佳能Tokki的历史最早可以追溯到1967年，后来Tokki被佳能收购，成为佳能旗下的一家子公司。值得一提的是，虽然佳能Tokki在OLED面板制造行业的地位举足轻重，但是Tokki的总部却位于日本的一个小乡村，只有300多名员工，被戏称为“日本乡村公司” 。
规模小意味着产能也小，佳能Tokki的高端真空蒸镀机由于制造难度太高，一直没有实现规模化量产， 2017年和2018的产能仅有9台和11台。三星、LG、京东方这些面板巨头都要排队购买。

但是由于使用佳能Tokki蒸镀机生产出来的OLED良率稳定质量高，连苹果公司都指定只接受使用佳能Tokki蒸镀机生产的OLED面板供货。也就是说，成为苹果OLED面板供应商的“门票”就是拥有佳能Tokki的蒸镀机。
当年三星曾在佳能Tokki极度困难的时期给予资金上的扶持，因此佳能Tokki的蒸镀机一直优先向三星供货，这也是三星在OLED面板领域长期垄断的原因之一。

然而这对我国的液晶面板产业却不是好事，佳能Tokki对高端蒸镀机的垄断相当于卡住了我国OLED面板产业的脖子。不在真空蒸镀机上实现突破，我国的OLED面板产业就只能寄人篱下。
经过几年的艰苦研发，我国合肥的欣奕华集团成功实现了国产真空蒸镀机的突破，填补了国内在蒸镀机领域的技术空白，并且欣奕华研制的OLED蒸镀封装设备入选了安徽省首台重大技术装备目录。
目前欣奕华开发的硅基OLED蒸镀机已经成功导入台州观宇科技的生产线并完成全彩点亮，标志着国产蒸镀机迈入新的里程碑。

打破国外企业的垄断只是实现制造设备国产化的第一步。如今摆在国产蒸镀机面前还有两个难关。