由于半导体行业自动化程度比较高,所以各个公司都会配备相应的MES系统。但是有一些公司仍然在使用自己开发的MES系统,而大部分已经趋向于购买专门的MES软件,成为一种趋势。
由于MES购置周期很长,企业在购买后短时间内不会更换系统,这给刚刚崭露头角的国产公司造成不小障碍。但是,在不断扩大的中国半导体市场前提下,自研MES在国内也有了不小的起色。
国产走出狭路提到国产半导体MES,就绕不开上扬软件,成立于2001年的上扬软件是国内最早研究MES系统的一批公司。本月2日,上扬软件完成了数亿元C2轮融资。今年5月,华为哈勃同样入股上扬软件,认缴8%股份。
myCIM是上扬软件在半导体领域的主要MES产品,拥有产品工艺规划(PRP)、花篮管理(CMS)、工艺菜单管理(RCP)等模块。myCIM从最初的1.0版本进化为最新4.0版本。myCIM4.0攻入12英寸晶圆市场,弥补了国内12英寸晶圆MES系统产品空缺。

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myCIM的硬件架构。来源:上扬软件
上扬软件公司官网显示,公司MES产品覆盖了半导体衬底材料、前道晶圆制造、后道封装测试在内的多个环节。2000年时,上扬软件为绍兴华越微电子有限公司开发的5英寸晶圆厂MES,华越在当年上线使用了这套系统,后来这套最初的国内MES系统被上海新进半导体6英寸产线引入,自此,上扬软件的这套系统成为首先完成完全商品化的MES软件之一。目前,上扬软件的MES软件已经被中芯国际、士兰微、华虹、格科微、华天等公司使用。

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来源:上扬软件
除了较早耕耘中国市场的上扬软件,近年来许多初创企业也注意到MES的市场风向。2018年成立的无锡芯享科技便是其中之一,今年年初,芯享科技完成了近亿元A轮投资,距其pre-A轮融资只过去了半年。这家无锡的公司产品有MES、CIM、EAP等,客户主要类型为晶圆厂、封测厂。
芯享科技的MES以生产执行为核心,通过生产计划等链入企业管理系统,同样可以支持8英寸、12英寸的晶圆厂客户。据其官网显示,芯享科技MES的客户有SK海力士和华虹等。

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芯享科技MES架构图。来源:芯享科技
新近获得融资的赛美特于2020年并购成立,合并了 “特劢丝软件”,“Semi Integration“和“深圳微迅信息科技”三家半导体企业,华为哈勃增资后成为其第三大股东。赛美特在上海成立了专门的MES事业部,官网介绍到客户有SK海力士、三星、紫光等。
哥瑞利成立于2007年,专注于平台系统研发,近年来在MES上成果浮现,并且开始并购扩张。在本次3亿元融资前,曾在2018年获得了中电海康的天使轮融资,去年,哥瑞利完成B轮融资,中芯聚源等投资机构参与。哥瑞利的客户包括华天、中芯国际等半导体企业。
除了上述公司,国内软件公司也研发了半导体MES产品,比如华磊迅拓、乾元坤和等。这些公司普遍以第三方开发服务起家,在与专业的半导体MES大厂比较时仍然有行业适配上的差距。
随着智能化、精益制造发展,MES等系统软件在晶圆厂的重要性更是日益凸显。国产MES系统能否突围,打破应用材料和IBM的垄断,对国产芯片制造有着重要的意义。目前,以云化SaaS的方式提供轻MES产品同样成为一种趋势,但是云MES是否符合半导体行业的特点更需要市场的验证。
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