英特尔推出Hybrid Bonding技术 推进高端封装演进

近日,英特尔对外分享了英特尔封装技术路线图。英特尔院士、封装研究与系统解决方案总监Johanna Swan分享道,从标准封装到嵌入式桥接时,凸点间距从 100 微米变为 55-36 微米。到Foveros封装时,英特尔将芯片堆叠在一起,实现横向和纵向的互连,凸点间距大概是50微米。未来,英特尔将通过采用Hybrid Bonding(有两种翻译:混合键合、混合结合)技术,计划实现小于 10 微米的凸点间距。
将凸点间距缩小到小于10微米, Hybrid Bonding技术究竟是如何实现的?
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Hybrid Bonding技术颠覆焊接技术
英特尔今年曾在ECTC 上发表关于混合键合技术的论文。Johanna Swan介绍,混合键合技术是一种在相互堆叠的芯片之间获得更密集互连的方法,并帮助实现更小的外形尺寸。
当缩减到大约 10 微米的凸点间距,将能够达到每平方毫米 10,000 个凸点。 这样,两个芯片之间能够实现更多的互连,进而可以提供更小、更简单的电路,因为它们可以相互叠加,也不必做扇入(fan-in)和扇出(fan-out)。
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“有了这个更简单的电路,我们可以使用更低的电容, 然后开始降低该通道的功率,这有助于朝着提供最好产品方向发展。” Johanna Swan表示。
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Hybrid Bonding与Foveros 技术所实现的焊接有诸多区别。
混合键合技术使电介质的芯片非常光滑,而不是有一个突出的凸点。实际上,还会有一个略微的凹陷。 当采用混合键合技术将两个组件放在一起时,可以在室温下进行,将它们放置好后,再升高温度对其进行退火,铜在这时会膨胀,从而形成电气连接。
Johanna Swan认为:“这非常有用,因为可获得更高的载流能力,并且可以将间距缩小到 10 微米以下。这样使我们目前在这些接口之间获得了比底部填充和紧密的铜密度更好的热性能。当使用混合键合技术时,将需要一种新的制造、清洁和测试方法。”
转向更小的间距可能会更有吸引力。 英特尔正在转向多个晶片,将其分解成 GPU、CPU、IO或区块,之后或许可以使用更小的区块去拥有单独的 IP, 这使得拥有更多区块,进而可以重复使用。Johanna Swan指出,这项技术可以根据特定客户的独特需求定制产品。 这种技术可改变晶片到晶片的互连,从焊接转向混合键合。
如果必须保持制造流程以相同的速度进行,当又有更多的晶片需要放置时,需要如何应对?为此,英特尔正在考虑的解决方案是批量组装,简称“自组装”。
当前,英特尔正在与 CEA-LETI(法国原子能委员会电子与信息技术实验室) 合作,研究一次能够放置多个晶片,并且进行自组装。
封装将继续小型化和缩小尺寸
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在可扩展性轴上,包括CO-EMIB技术和ODI 全方位互连技术。
CO-EMIB技术尝试通过使用 EMIB 和 Foveros 的组合来融合 2D 和 3D 的技术, 这种架构基于与配套晶片和堆叠芯片复合体的高密度连接,实现了比基础尺寸更大的尺寸。
ODI 全方位互连技术,是英特尔正在使用的封装的一个新维度。
对于2.5D 和 3D的组合,Johanna Swan指出,这种趋势肯定会继续下去,因为拥有的发展机会是在每毫米立方体上提供尽可能多的区块并获得每毫米立方体尽可能多的功能。封装将继续小型化和缩小尺寸,以便可以获得毫米立方体的最大功能。
英特尔的 Foveros技术,通过该技术堆叠芯片,使用硅通孔Through -Silicon-Via(TSV) 技术在封装和晶片之间通信,一直到顶部晶片。