百度|ASML新一代光刻机完成交付，EUV光刻机或将对我国出货！

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随着全球数字化发展的不断加速，芯片所扮演“数字时代粮食”的角色愈发凸显。我国虽然是全球最大的芯片消耗市场，芯片研发实力也位居世界第一梯队，但是芯片上游产业链几乎完全依赖于美国，这也是为什么美国能被称为“世界硅谷” ，除了芯片设计环节的架构， EDA软件，美国还垄断着全球最先进的芯片制造工具，光刻机。

在光刻机领域， ASML的市场份额占据着绝对领先地位，而在高端EUV市场， ASML则达到了绝对垄断的地步。然而不管是资本方面还是在技术方面，背后都有美国的大力支持，其他国家半导体产业的兴衰也成了美国的“一言堂” 。随着中美科技竞争的不断升温，美国不仅中断了华为的代工业务，同时还阻挠ASML的EUV光刻机向中芯国际发货，导致国内无法生产7nm及更先进工艺的芯片。

ASML传来好消息
全球芯片慌的局面，暴露出了AMSL在产能方面的劣势，在这种背景下， ASML一方面在韩国投资2亿美元成立EUV光刻机制造工厂，另一方面加速了对新一代光刻机的研发。
根据媒体报道， ASML正式对外发布消息称，新一代EUV光刻机（TWINSCAN NXE:3600D）已经完成了对英特尔的出货交付，与上一代EUV光刻机相比，产能提升了20% ，同时还能生产3nm工艺的芯片。

而ASML对英特尔交付新一代光刻机的举动，对于我国中芯国际这些芯片代工企业而言，这是一个好消息，为什么呢？
众所周知， 2018年中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机，美国禁令的缘故，三年了，这台EUV光刻机迟迟不能发货，只能对中芯国际供货DUV光刻机，用以量产14nm及更成熟工艺的芯片。而ASML新一代光刻机的交付，这也意味着能量产7nm、5nm工艺芯片的光刻机将成为上一代EUV光刻机，很有可能对我国自有出货，因为美国限制的是ASML最新一代的光刻机。

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不仅如此， ASML CEO自4月份开始就开始不停地向美国发出警告，希望先进光刻机能向国内市场发货，而AMSL绕过台积电，在美国最希望能实现制造业复苏的关键时刻，率先向英特尔交付了最新一代的EUV光刻机，这无疑是想满足美国的需求，从而达到自己自由出货的目的。

另外， ASML在上海的“追光实验室”已经正式对外开放，而这个实验室就是通过AR技术向用户展示先进光刻机的工作原理，了解光刻机的内部构造、浸润式光刻机的双晶工作台等等。 ASML的立场已经非常明显，激发国内科学家对光刻机研发的热情，降低EUV光刻机在美国眼中的技术壁垒。

当然，对于我国代工企业来说，获得EUV光刻机也是十分迫切的。中科院包云岗博士透露，国内7nm工艺已经完成流片，今年年底或明年年初就可实现批量生产， 5nm工艺，力争在2021年底之前将打通完整工艺流程。如果能获得EUV光刻机，这对于国内芯片代工企业而言，将会迎来一次大跨步。