光刻机|官媒亲自恭贺!中科院突破高端光刻机关键部件

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老美对华为的制裁 , 让华为处在水深火热之中 , 同时也让中国的芯片产业彻底觉醒 , 不能把技术掌握在自己手中 , 随时都可能有华为那样的“下场” 。 但是芯片生产并不是像我们想象的那样简单 , 生产一片芯片同样要经过数道工序 , 设计 , 代工 , 测试 , 封装等缺一不可 。
这几个环节中唯有设计这方面 , 我们勉强可以跟上世界先进工艺水平 , 其他方面平均都落后10年左右 。 其中难度最大的还是光刻机 , 光刻机技术被网友们称为比核弹还要难生产 , 这种说法一点也不夸张 , 也正是光刻机研发难度太大 , 即使我国全力攻克 , 没有10年的时间也无法实现自产 。 2018年以前还可以从荷兰ASML购买到光刻机 , 但是随着我们国力增强 , 中国企业对国外垄断的技术开始逐渐攻破之后 , 老美开始慌了 。 从2018年开始就逐渐通过威逼利诱 , 阻止西方国家对中国出售高端精密产品 , 光刻机当然也在其中 。
网友们可能都知道2018年时 , 我国就从ASML订购了光刻机 , 但是老美由于从中阻拦到现在为止 , 这批光刻机还是没有能够到达中国手中 。 而且前段时间老美又通过一项法案 , 明确告知荷兰不许对中国出售EUV光刻机 , 这样一来从外部购买光刻机的路子是彻底堵死了 。 有很多网友会问 , 荷兰的光刻机干嘛要听老美的 , 其实ASML并不是荷兰一家生产的 , 而且光刻机也不是仅仅有钱就可以生产出来的设备 。
一台光刻机的重量达到180吨 , 一共有10多个各类零件 , 需要全球十多个国家 , 几十个世界顶级企业 , 和60多个不同行业的配合才能生产出来一台先进的光刻机 。 而且其中工艺极其复杂而且要求精密度奇高 , 芯片大家都知道 , 也只有手指甲盖大小 , 需要雕刻线路图的地方厚度仅仅只有一微米 , 一微米的厚度大概也就是苍蝇翅膀的厚度 。 首先要能清楚地观察到这个厚度 , 控制力量才能进行雕刻 , 在此之前还需要一只能够雕刻的“笔” , 而对这个“笔”的要求就更加高了 , 笔芯直径要5纳米才能完成 。
即使有这样还不够 , 还需要德国蔡司公司的镜头 , 日本公司的复合材料 , 还有全球最先进的精密机床 , 和控制软件等等 。 现在ASML最先进的EUV光刻机 , 也就是紫外线光刻机 , 其中涉及到的学科更是广泛 , 光学 , 化学 , 流体力学等等 , 还需要图像识别 , 科学仪器 , 自动化软件等等领域 。 不论是这些学科和技术领域 , 都不是一个国家可以同时掌握的 , 所以说一个国家拥有的技术是不可能制造出来光刻机的 。
光刻机对于中国来说生产难度同样非常大 , 现在国家对光刻机研发是通过分工合作的方式 , 不同的单位生产不同的部件 。 而且最近光刻机的研发就传来了好消息 , 首先是EUV光刻机最核心部件之一的光源 , 已经由清华大学的研发团队完成 , 该团队是粒子加速器 , 通过了对紫极光的实验验证 , 证明这种理论可以为光刻机提供光源 。 为了完成这项任务清华团队前前后后跑了8次德国 , 现在终于大功告成 , 而且不仅是光源已经完成 , 从官方发布最新消息得知 , 光刻机的镜头现在也已经由中科科美完成 。
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