设备|北方华创｜中国高端电子工艺装备龙头公司

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撰文｜李霖发编辑｜LZ
北方华创是中国高端电子工艺装备龙头公司，产品是电子工艺装备和电子元器件，设有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个核心事业集群。
实际控制人北京电控持股 10.47%，通过全资子公司北京七星华电科技集团间接持股 35.89%，合计46.36%，北京电控实际控制人是北京市国资委；国家集成电路产业投资基金持股7.92%。

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公司始于2001年，分为三个阶段：
? 初创阶段：2001年成立七星电子和北方微电子，七星电子以七星集团为主发起设立，主营半导体装备及精密电子元器件；北方微电子由北京电控联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所设立，主营高端半导体装备业务。
? 快速成长期：2015 年七星电子与北方微电子重组，引进国家集成电路产业基金、京国瑞基金多方战略投资人，由此成为中国规模最大高端半导体设备公司。2017 年更名“北方华创”，形成北方华创微电子、北方华创真空、北方华创新能源和北京七星精密电子四家全资子公司结构。
? 2018年之后：北方华创微电子收购了美国 Akrion Systems LLC 公司，丰富了高端集成电路设备产业线；2019年定增募资加码高端集成电路研究和高精密电子元器件研究项目；2020年收购了“北广科技”射频应用技术。
公司构建了半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个核心事业集群。产品分为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺装备为营收主要来源，它分为半导体装备、真空装备及新能源锂电装备三大类。
半导体装备2020年收入占比约69%，经营主体为全资子公司北方华创微电子，包括刻蚀设备及薄膜设备（PVD、CVD）、氧化/扩散炉、清洗/退火等设备品类，用于集成电路、先进封装、LED、光伏、MEMS。
真空及新能源设备收入约占 12%，真空装备经营主体为全资子公司北方华创真空，包括真空热处理设备、气氛保护热处理设备、连续式热处理设备和晶体生长设备四个大类产品，应用于新能源、新材料、真空电子、航空航天和磁性材料，新能源设备主要是二次电池制造设备，经营主体为北方华创真空子公司和北方华创新能源。
精密元器件收入占比21%，包含精密电阻器、钽电容器、石英晶体器件、微波组件、模块电源、混合集成电路等，广泛应用于自动控制、电力电子、精密仪器仪表、铁路交通。

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半导体设备均覆盖了刻蚀机、PVD、CVD、ALD、氧化/扩散炉、退火炉、MFC、清洗机等前道工序所需大部分核心设备，批量进入本土集成电路及LED、MEMS、光伏等泛半导体领域生产线，部分产品成为龙头厂商量产线Baseline机台。

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集成电路产品进入了中芯国际、长江存储、武汉新芯，28 纳米 HardmaskPVD、Al-PadPVD 设备进入国际主流供应链体系；LED客户有三安光电、华灿光电，并针对 Mini/Micro-LED 两种不同技术路线均展开布局；显示面板客户包括全球龙头京东方，且已布局LED、硅基OLED；光伏领域是隆基股份主要供应商。
刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除（光刻胶）开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺，分为湿法刻蚀及干法刻蚀。